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一、真空度不高
1.真空泵温太高
(1)被抽气体温度过高。解决方案：应让气体冷却后再进入真空泵内。
(2)吸入硬物导致真空泵体磨损。解决方案：应拆开真空泵除去硬物，对划伤部件进行修复或更换。
(3)真空泵冷却水流量不够。解决方案：应加大冷却水流量。
(4)装配不当，使转子轴心位移，造成单面磨损。解决方案：拆开检查并重新装配。
2.真空泵油有问题
(1)油位过低。解决方案：加足油量到油标中心线。
(3)油被沾污，油质变坏。解决方案：应更换新油。
(3)油的牌号不符。解决方案：换规定牌号的真空泵油。
(4)油路不通，真空泵腔内没有保持适当的油量。解决方案：检查油路及油阀的进油量，保持油路畅通。
3.真空泵本身漏气
(1)密封圈漏气。解决方案：检查所有密封部位的密封情况，更换破损的密封圈
(2)气镇阀垫圈损坏或未拧紧。解决方案：更换垫圈并拧紧气镇阀
(3)排气阀片损坏，密封不好。解决方案：更换气阀片
(4)真空泵中隔板压入时过盈量太大，造成真空泵腔变形而漏气。解决方案：修整真空泵腔或更换。
(5)由于真空泵的端面油密封不良造成漏气。解决方案：拆开端盖，检查是否有杂物或不平整，并进行清洗或修理。
(6)弹簧变形或折断及旋片动作不灵。解决方案：整修或更换弹簧变形，使转子积旋片配合良好
(7) 进气口的过滤网被堵塞。解决方案：取下过滤网清洗干净，再装上去。
(8)因加工不良或磨损造成配合间隙过大。解决方案：检查真空泵腔、转子、旋片、端盖板之间的配合间隙，投规定的精度要求进行修复或更换。
(9)真空泵运转中摩擦发热。温升太高，使真空泵油变稀，密封性变差。解决方案：通冷却水或用电风扇降温，同时，检查有关部件配合间隙并按规定精度要求进行修理或更换。
二、泵的轴承部位升温过高
1.轴承外圈松动，发生摩擦。解决方案：更换轴承或轴承盖。
2.在轴承内润滑脂装量太多。解决方案：减少塞在轴承腔内的油量。
3.轴承有所损坏。解决方案：更换轴承。
4.轴承的内外圈配合不当，轴承的间隙过小。解决方案：将轴承卸下，磨小轴颈和增大轴承盒内孔直径。
三.电机、真空泵运异常。电机超负荷运转、真空泵在运转中异常杂音、噪声、转动困难或发生“卡死"现象。
1.真空泵温太高，可参照1款(1)项处理。
2.弹簧变形或断裂，使旋片受力不均匀而发出冲击声。解决方案：更换弹簧。
3.装配不当，造成单面磨损。解决方案：重新装配。
4.过滤网损坏，金属屑、玻璃屑等落入真空泵内，使运转发生障碍。解决方案：拆真空泵检查、清除碎屑，修复或更换磨损部件，并装好过滤网。
5. 真空泵腔内污染严重，导致零件锈蚀。解决方案：拆真空泵请洗，去除锈斑，并换油。
6. 真空泵油变成乳浊状，粘度增大。解决方案：更换新的真空泵油。
7. 真空泵腔、轴和轴套配合过紧，紧成润滑不良。解决方案：重新装配并疏通和调节油路，加强润滑。
8. 电机有故障而产生噪声。解决方案：检修电机或给轴承加上润滑黄油。